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納米探針臺

【產品概述】PicoFemto系列掃描電子顯微鏡納米探針臺實現了三維空間上的精確定位,具有小尺寸大行程、高定位精度、操作簡單、能在真空下使用等優點,使用于在SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作及物性測量。

  • 產品型號:NP-3
  • 更新時間:2023-02-20
  • 訪  問  量:986
  • 廠商性質:生產廠家

產品詳情

    PicoFemto系列掃描電子顯微鏡納米探針臺基于壓電陶瓷驅動技術,運動無需潤滑,兼容掃描電鏡真空環境,并可在多種溫度范圍內工作;步進和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。

    三軸探針臺由XYZ三個單軸運動臺組合而成。一個SEM腔體內可安裝多個三軸探針臺。平臺上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭,實現微納操縱和測量的目的。

    技術指標(單個三軸探針臺)

 

 

運動指標 尺寸參數
1. X軸移動行程:±10mm; 1. 長/寬/高: 48.6mm/33.2mm/43.6mm
2. Y軸移動行程:±10mm; 2. 重量:225g
3. Z軸移動行程:±10mm;  
4. 運動速度:0-3mm/s;  
5. 細調分辨率:0.5nm  

    產品選型

    納米探針臺

    澤攸科技提供適配Thermofisher/FEI、JEOL、ZEISS、Tescan及ZEPTOOLS等多種掃描電子顯微鏡型號的納米探針臺,支持定制。

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