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產品詳情
| 氣氛指標 | 加熱指標 |
| 1.氣柜：三通道混氣； | 1.溫度范圍：室溫至800℃； |
| 2.氣壓范圍：0-1Bar； | 2.溫度準確度：優于5%； |
| 3.氣壓準確度：30mBar； | 3.溫度穩定性：優于±0.1℃； |
| 4.氣體流速：0.01-0.4mL/min； | 4.四電極加熱，帶溫度反饋； |
| 5.可通氣體：H2,N2,O2,He,Ar,CO,CO2,CxHy等。 | 5.軟件控制； |
| 6.軟件控制 | 6.可搭配第三方源表、質譜分析附件 |
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